材質	不銹鋼,哈氏合金	精度等級	0.05
適用介質	氣體,液體	連接方式	螺紋
壓力范圍	中壓	溫度范圍	中溫
工作溫度	150℃	產地	國產
加工定制	是	質保	2年

半導體微小質量流量計
該系列產品原生半導體級設計，具備高速、高精、高潔凈、高穩(wěn)定優(yōu)勢，最快50ms級響應，0.02%F.S.高重復性與±0.05%F.S.高精度，具備EP/雙V潔凈度、HC/鎳鉻合金接液、全金屬密封等可選配置，廣泛應用于半導體制造（薄膜沉積、刻蝕、離子注入、清洗、熱處理等）場景。

參數(shù)項	參數(shù)詳情
產品系列	GRYLLS-7000G 系列
流量范圍	0.5SCCM-1000SLPM
量程比	50:1/100:1/200:1/500:1/1000:1/10000:1（可選）
多氣體 / 多量程	可定制多種氣體 / 多量程
精度	±1% F.S./±0.5% F.S./±0.05% F.S./±0.1% S.P.（可選）
響應速度	最快 <50ms；(200ms/500ms 可選)
重復性	±0.02% F.S.-±0.1% F.S.（不同量程，該數(shù)值會有區(qū)別）
線性度	±0.2% F.S.-±0.1% F.S.（不同量程，該數(shù)值會有區(qū)別）
環(huán)境溫度使用范圍	- 10℃到 60℃；高低溫產品可達零下 200℃, 最高可達 250℃
零點溫度漂移	±0.003%F.S./℃ - ±0.02%F.S./℃
跨度溫度漂移	±0.05% Rate/℃ -±0.02% Rate/℃
工作壓力	耐壓 1Mpa, 壓差根據(jù)流量大小在 0.1Mpa-0.3Mpa 之間，可定制極低壓損產品和高壓差以及耐高壓產品
對外泄露率	1×10-11Pa?m3/sec/1×10-10Pa?m3/sec/1×10-9Pa?m3/sec（可選）
安裝方向	任意方向安裝，無需直管段（超過 500SLPM 量程建議水平安裝，如果垂直安裝建議流體下進上出）
接液材料	316L+KM45+PCTFE/FKM/EPDM/FFKM/316L VimVar+ PFA/HC, 鎳鉻合金（可選）
殼體防護等級	IP40
工藝	流體拋光，機械拋光，電拋，鈍化處理
密封方式	A: 金屬密封 B: 彈性體密封
表面處理	雙 V, 表面 Ra0.1um/EP, 表面 Ra0.25um/BA, 表面 Ra0.4um（可選）
顯示屏	頂部顯示屏可選
通信模式	0-5V,4-20mA,RS232, RS485,modbus, DeviceNet, EtherCAT,PROFIBUS,PROFINET,EtherNet/IP（除支持以上通訊協(xié)議外，還可定制或兼容其它通訊協(xié)議）
供電電源	9-30vDC 電源地與信號地內部隔離
電源功耗	11-30V(<8watt)
機械接頭	VCR、卡套、IGS、內螺紋，其他可定制