微量氣體流量計(jì)

概述：

應(yīng)用于多個(gè)OEM設(shè)備場(chǎng)合，尤其適合微小流量測(cè)量

適用于燃?xì)獾蛪毫Α⑿孤y(cè)試的低流量、半導(dǎo)體等使用

±15VDC供電性能穩(wěn)定，0-5V模擬信號(hào)更加通用

可定制0.02-1SCCM微小流量

特點(diǎn)：

• 配備溫度跟蹤式電流差檢測(cè)型流量傳感器，實(shí)現(xiàn)高精度，高速響應(yīng)
• F.S.1 SCCM微流量支持（SR選項(xiàng)）

 尺寸圖：

使用注意事項(xiàng)：

一：進(jìn)氣管道上建議安裝上的過濾器、油水分離器使用，保證氣體的干燥干凈《濕度不超過90%(一定不能進(jìn)水)、雜質(zhì)粉塵不超過20微米》。

二：用肥皂水對(duì)管路進(jìn)行泄漏檢測(cè)時(shí)，只能將肥皂水噴灑在管路接頭上，不能噴在儀表或電氣插頭上。

三：安裝前，請(qǐng)將設(shè)備管路進(jìn)行整體吹掃。

四：耐壓1.0Mpa，進(jìn)口大壓力5公斤。

五：需要進(jìn)行零點(diǎn)漂移清零的時(shí)候，確認(rèn)進(jìn)/出口沒流量沒壓力下 再操作。
 

微量氣體流量計(jì)

性能參數(shù)： 

電器連接：